1100C真空チャンバー炉VBF-1200X-H8の説明
1100℃真空チャンバー炉は 、発熱体として抵抗線を使用し、二重層シェル構造、50段階プログラム温度制御、K型熱電対を採用しています。炉は高純度アルミナ繊維材料で作られています。最高温度は1100度に達する。1000度の温度で連続運転が可能で、温度制御精度は±1度です。この炉は均一な温度場、低い表面温度、速い昇温と降温、省エネの利点があります。
1100℃真空チャンバー炉 VBF-1200X-H8 仕様
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加熱速度
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発熱体
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電源
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- 電圧単相 208 - 240 VAC / 50/60Hz
- 最大4 KW
- 注：電源ケーブルは付属していますが、プラグは付いていません。ご自身でプラグを取り付けてください。
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使用温度
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- <= 1000 ℃ 連続使用
- 最大1100℃、30分未満
- 温度均一性：±1
- 注： <= 1150 ℃連続はGE214グレードの石英管で可能です。
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石英管と効果的な加熱
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- チューブサイズ：8" O.D. x 7.5" I.D. x 13.4" L.
- 加熱面積：7.5 "内径×8.5 "深さ（7.6リットル）
- 均一温度ゾーン：6 "Dia x 3.5 "深さ中央位置で±5℃以内
- 石英管は交換可能です。
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ガス注入口と排出口と水冷
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- 炉の左側にバルブ付きガスパージインレット (1/4 "ホースアダプター)
- 不活性ガスはこの入口から炉内に導入してパージします。
- 連続的なガス流入が必要な場合は、以下の追加ガス流入口および熱電対プローブを参照してください。
- 真空シールOリングを保護するため、フランジ内部に水冷ジャケットを装備。炉の左側にあるインレットとアウトレットは、直径12 mmのコネクター2個を介してチラーに接続します。ポリウレタン管（16 l/minの水流が必要）。
- 加熱温度が500℃を超える場合はチラーが必要（サーマルブロックを設置）
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温度コントローラー
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- NRTL認定デジタル温度コントローラー付属。
- 比例・積分・微分制御（PID制御）とセルフチューニング機能。
- ランプ、クールダウン、ドエルステップ付き30セグメントプログラミング
- 過熱アラームおよび熱電対故障アラーム内蔵
- 温度制御精度+/-1
- PC接続用デフォルトDB9 PC通信ポート装備
- ユーロサーム温度コントローラーの精度は+/-0.1℃です。
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オプション
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- 試料ホルダーはファーネスに付属していません。
- 最大6インチまでのウェーハをアニールするための石英ウェーハボートをご注文いただけます。
- オプションの石英サーマルブロックは、高真空レベルを達成し、潜在的なコンタミネーション問題を回避するのに役立つ耐火物ブロックとして、ご要望に応じてご利用いただけます。
- 4穴1/4 "アルミナチューブは、高温での電気特性を測定するために、4本のワイヤー（例えばPtワイヤー）を穴に挿入するために使用できます（別料金）。
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保証
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- 1年間の限定保証と生涯サポート
- 注意：腐食性ガスや酸性ガスの使用に起因する損害は、SAM 1年限定保証の対象外です。
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コンプライアンス
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- CE認証
- NRTLまたはCSA認証は、追加料金にて承ります。
- パテン番号：ZL-2011-2-0102249.4 SINCE 2011-5-19
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1100C 真空チャンバー炉 VBF-1200X-H8 用途
1100C真空チャンバー炉は 、半導体ウェハー(6インチまで)を真空または各種ガス雰囲気下、最高温度1100℃で焼成またはアニールするために設計されています。また、真空ロウ付け炉としても使用できます。
1100℃真空チャンバー炉 VBF-1200X-H8 パッケージング
1100C真空チャンバー炉VBF-1200X-H8は 、製品の品質を元の状態で維持するために、保管中および輸送中に慎重に取り扱われます。
