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スパッタリングターゲット

スパッタリングターゲットは、最大820mmまでの寸法と形状でモノブロックまたはボンデッドタイプがあり、旧式のスパッタリング装置と、大面積コーティングやフリップチップアプリケーションなどの最新処理装置の両方で使用できるように、穴あけドリル位置やネジ切り、面取り、溝、裏打ち加工が施されています。研究用サイズのターゲットもあり、特注サイズや合金組成も可能である。

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