単結晶シリコン引上げ用石英るつぼ 説明
シリコン単結晶引き上げ用石英るつぼは、石英またはシリカガラスから作られた特殊な装置です。ルツボは、Czochralski(CZ)プロセスでシリコン単結晶を引き上げるためのものです。様々な科学的および工業的用途で使用され、特に真空システムでは封じ込め容器の役割を果たします。石英の透明性、高純度、化学的不活性、優れた熱安定性は、このような用途に理想的な材料です。
単結晶シリコン引き上げ用石英るつぼ仕様
材質
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石英、SiO2
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使用温度
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1100-1200℃
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純度
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99.99%
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融点
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1660-1710℃
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軟化点
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1570℃
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密度
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2.2g/cm3
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標準寸法(mm)
仕様
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D
|
H
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W1
|
W2
|
W3
|
R1
|
R2
|
14インチ
|
355±3
|
240±3
|
10±3
|
10±3
|
11±3
|
89
|
381
|
16 インチ
|
405±2
|
280±3
|
9±2
|
9±2
|
9±2
|
90
|
450
|
18 インチ
|
457±3
|
355±2
|
7-12
|
7-12
|
7-12
|
88-120
|
457-500
|
20インチ
|
505±3
|
385±2
|
11±2
|
11±2
|
11±2
|
120
|
508
|
22インチ
|
555-560
|
406±2
|
11+3/-1
|
11+3/-1
|
11+3/-1
|
127
|
560
|
24インチ
|
609+2/-3
|
440±3
|
11-2/+3
|
12-2/+3
|
12-2/+3
|
120
|
610
|
25インチ
|
632±3
|
460±3
|
11+3/-1
|
11+3/-1
|
14+4/-2
|
120
|
635
|
26インチ
|
654±3
|
500±3
|
12+3/-1
|
12+3/-1
|
14+4/-2
|
120
|
660
|
28 インチ
|
708±3
|
556±3
|
13.5±2
|
13.5±2
|
19.0±3
|
120
|
710
|
30 インチ
|
758±3
|
580±3
|
13.5±2
|
13.5±2
|
19.0±3
|
120
|
760
|
32 インチ
|
810±3
|
680±3
|
15.0±3
|
15.0±3
|
21.0±4
|
120
|
81
|
S32インチ
|
834±4
|
680±3
|
15.0±3
|
15.0±3
|
21.0±4
|
120
|
834
|
S36インチ
|
943±4
|
760±3
|
15.0±3
|
15.0±3
|
22.0±4
|
160
|
947
|
40 インチ
|
1016±4
|
760±3
|
15.0±3
|
15.0±3
|
25.0±5
|
160
|
1016
|
*特注サイズも承りますので、お問い合わせください。
単結晶シリコン引き上げ用石英るつぼ
石英るつぼは主に太陽光発電と半導体分野で使用され、太陽エネルギーと半導体ユーザーの高温条件下での連続シリコン単結晶引き上げをサポートすることができます。
シリコン単結晶引上げ用石英るつぼ 包装
当社の単結晶シリコン引上げ用石英るつぼは、製品の品質を元の状態で維持するために、保管中及び輸送中に注意深く取り扱われます。