チタン酸バリウムストロンチウムターゲット(BaSrTiO3)(BST)の説明
チタン酸バリウムストロンチウム(BaSrTiO₃またはBST)ターゲットは 、卓越した誘電特性、強誘電特性、電気光学特性で知られる複雑なペロブスカイト構造のセラミック材料です。その誘電率は電界印加により高度に調整可能であるため、電圧制御機能を必要とする用途で特に有用です。BST化合物は、キュリー温度で誘電相から強誘電相への相転移を示しますが、この相転移はバリウムとストロンチウムの比率を変えることで調整可能で、誘電率や損失特性にも影響を与えます。優れた熱安定性と優れた耐薬品性を持ち、スパッタリングプロセスによって高品質で均一な薄膜を形成することができる。これらの薄膜は通常、高い結晶性と滑らかな表面形態を示し、高周波および高密度集積デバイスの性能に不可欠である。さらに、BSTターゲットは一般的な電極材料や基板と化学的に適合し、小型化された電子システムにおける低損失、高キャパシタンスの誘電体層の製造をサポートします。
チタン酸バリウムストロンチウムターゲット(BaSrTiO3)(BST)仕様
特性
材質
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BaSrTiO3
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純度
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99.9%
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形状
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平面ディスク
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*上記製品情報は理論値です。具体的なご要望、詳細につきましては、お問い合わせください。
サイズ
直径
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1-8インチ(カスタマイズ可能)
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厚さ
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0.125-0.25インチ(カスタマイズ可能)
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チタン酸バリウムストロンチウムターゲット (BaSrTiO3) (BST) 用途
- チューナブル・マイクロ波デバイス:BST薄膜は、誘電率が電圧に依存するため、マイクロ波およびRF通信システムのチューナブル・キャパシタ、位相シフタ、フィルタに使用されます。
- ダイナミック・ランダム・アクセス・メモリ(DRAM):誘電率が高いため、DRAMデバイスのコンデンサ層に適しています。
- 強誘電体薄膜デバイス:BSTは、FeRAM(強誘電体RAM)のような不揮発性メモリ・アプリケーションに使用されます。
- 電気光学デバイスその非線形光学特性により、BSTは変調器やその他の光部品にも使用されています。
- 積層セラミックコンデンサ(MLCC):BSTは、高容量で小型化されたコンデンサのベース材料として使用されています。
チタン酸バリウムストロンチウムターゲット(BaSrTiO3)(BST)包装
当社の製品は、材料の寸法に基づいて様々なサイズのカスタマイズされたカートンに梱包されています。小さな商品はPP箱にしっかりと梱包され、大きな商品は特注の木枠に入れられます。梱包のカスタマイズを厳守し、適切な緩衝材を使用することで、輸送中に最適な保護を提供します。


梱包カートン、木箱、またはカスタマイズ。
製造工程

- 化学成分分析 - GDMSやXRFなどの技術を用いて検証し、純度要件への適合を確認します。
- 機械的特性試験 - 引張強さ、降伏強さ、伸び試験を行い、材料の性能を評価します。
- 寸法検査 - 厚さ、幅、長さを測定し、指定された公差に準拠していることを確認します。
- 表面品質検査 - 目視および超音波検査により、傷、亀裂、介在物などの欠陥をチェックします。
- 硬度検査 - 材料の硬度を測定し、均一性と機械的信頼性を確認します。
チタン酸バリウムストロンチウムターゲット(BaSrTiO3)(BST)に関するFAQ
Q1: チタン酸バリウムストロンチウム(BST)は一般的に何に使用されていますか?
A1: BSTは、その高い誘電率と調整可能な強誘電体特性により、調整可能なマイクロ波デバイス、DRAMキャパシタ、不揮発性メモリ、電気光学部品などに広く使用されています。
Q2: BSTターゲットのサイズや形状のオプションはありますか?
A2: はい、BSTターゲットは、お客様の成膜システムに適合するように、平面または回転設計を含め、特注の直径、厚さ、および形状で提供することができます。
Q3: BSTターゲットはどのように保管または取り扱えばよいですか?
A3: 乾燥した清潔な環境で保管してください。湿気や汚染物質への暴露を避けてください。汚染を防ぐため、手袋や工具を使って取り扱ってください。
競合製品との性能比較表
チタン酸バリウムストロンチウムターゲット(BaSrTiO3)(BST)と競合材料との比較:性能比較
材料
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組成
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誘電率 (εr)
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誘電損失 (tanδ)
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焼結温度 (°C)
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結晶構造
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結晶粒径
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Ba0.6Sr0.4TiO3 (BST)
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Ba/Sr = 60/40
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900 (0°C, 1 kHz)
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0.03
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1200
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立方晶ペロブスカイト
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<1 μm
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BST膜(RFスパッタリング)
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Ba/Sr = 60/40
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>100 (室温)
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該当なし
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該当なし
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ペロブスカイト薄膜
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~280 nm (厚さ)
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BaTiO3 (BTO)
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純粋BaTiO₃
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1500-6000(ドーピングにより異なる)
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0.01-0.05
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1300-1400
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正方晶ペロブスカイト
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1-5 μm
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SrTiO3 (STO)
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純SrTiO₃
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~300(室温)
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<0.001
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~1400
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キュービックペロブスカイト
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0.5-2 μm
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PZT (PbZrxTi1-xO3)
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Zr/Ti = 52/48
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500-3000
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0.02-0.05
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1200-1300
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正方晶ペロブスカイト
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2-10 μm
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関連情報
バリウムは、原子番号56の柔らかい銀色のアルカリ土類金属です。特に水や空気との反応性が高い。バリウムは、バライト(BaSO₄)やウィザライト(BaCO₃)などの鉱物として自然界に一般的に存在します。バリウムは密度が高く、電子放出特性に優れているため、セラミック、放射線遮蔽、電子機器など様々な用途に使用されている。
ストロンチウムは原子番号38のアルカリ土類金属で、銀色の柔らかい外観が特徴。反応性が高く、真っ赤な炎で燃える塩を形成するため、花火や照明弾、特定の医療用画像処理用途で重宝されている。ストロンチウムはバリウムとともに、BST材料のような強誘電体セラミックや高誘電体セラミックの製造によく使用される。
チタンは原子番号22の遷移金属で、卓越した強度対重量比、耐食性、高温安定性で知られています。その酸化物(TiO₂)は、光触媒、コーティング、光学フィルム、太陽電池に広く使用されている。金属チタンは、その耐久性と非反応性により、航空宇宙、医療、化学産業において重要な材料である。
仕様
特性
材質
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BaSrTiO3
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純度
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99.9%
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形状
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平面ディスク
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*上記製品情報は理論値です。具体的なご要望、詳細につきましては、お問い合わせください。
サイズ
直径
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1-8インチ(カスタマイズ可能)
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厚さ
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0.125-0.25インチ(カスタマイズ可能)
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